红外反射谱论文

基于模型的微纳深沟槽结构红外反射谱测量方法研究
论文摘要在微电子和微机电系统设计与制造工艺中,目前普遍采用了高深宽比的深沟槽结构。随着沟槽尺寸不断缩小且沟槽剖面形貌更为复杂,监测沟槽深度相关的几何特征参数对于保证工艺控制已变...
微纳深沟槽结构测量系统研究
论文摘要在微电子和微机电系统(MEMS)设计与制造工艺过程中,目前广泛采用了高深宽比的深沟槽结构。传统的测量方式很难甚至无法实现对深沟槽深度的测量,因此需要采用光学的方法对深沟...
(Mg1-xZnx)Al2O4低介电常数微波介质陶瓷
论文摘要伴随着现代无线通信技术日新月异的进步，微波通讯已逐渐构成现代通信技术最为重要的组成部分，而微波通讯中信息量的激增也促使通讯设施的工作频率向高端发展，从而催生了人们对高Q...