红外探测器封装论文

非致冷红外探测器后端工艺技术研究
论文摘要非致冷红外探测器在军民两用市场都具有广泛的应用前景,近年来得到了大力的发展。作为典型的MEMS器件,红外探测器与其它MEMS器件一样,后端工艺是保证器件可靠运行的保障。...