宏微驱动论文

全压电驱动纳米级宏/微定位系统的研究
论文摘要宏/微驱动定位平台是实现大行程、高精度精密定位的主要实现方式之一。宏动平台完成系统的粗定位,可以有效提高系统运行速度,扩大系统运动范围;微动系统实现精密补偿定位,可以有...
宏微驱动超精密定位工作台在磨床上的应用研究
论文摘要精密工作台的定位精度是制约机床加工精度的关键因素之一。宏微驱动的超精密定位工作台将系统划分为宏动和微动两个部分,宏定位工作台完成系统的高速度、大行程、低分辨率的运动,微...