厚薄膜论文

本文主要研究内容作者李安,李霞,王云锋,张广安,万善宏（2019）在《厚类金刚石碳基薄膜的制备及摩擦与腐蚀性能的表征》一文中研究指出：目的设计多层掺Si交替沉积的厚DLC薄膜,...