厚胶光刻论文

C-MEMS工艺制备碳微结构实验研究
论文摘要以光刻胶作为有机前驱物的热解成碳工艺与厚胶光刻工艺结合后,形成一种新的用于制备碳微结构的“C-MEMS（Carbon-MEMS）”工艺,它流程简单、成本低、可重复性强且...