后集成工艺论文

全功能相变存储器芯片设计及后集成工艺研究
论文摘要相变存储器以其读写速度快、功耗低、存储密度高、抗疲劳特性好、与CMOS工艺兼容、抗辐射等特点成为下一代非易失性存储器的有力竞争者。本文介绍了一款全功能相变存储器芯片的设...