厚锌牺牲层技术论文

若干微电子机械系统研制及相关LIGA工艺研究
论文摘要随着MEMS传感器芯片在物理、化学、生物和医学等方面的广泛应用,相应的微加工工艺成为当前微系统技术的一个研究热点。MEMS微加工技术涉及微电子、材料、物理（力学及流体力...