划痕论文

单晶硅纳米磨削过程的摩擦裂纹试验研究
论文摘要单晶硅是集成电路（IC）制造过程中最常用的衬底材料,单晶硅的表面质量直接影响着器件的性能、成品率以及芯片寿命。随着单晶硅尺寸的增大及特征尺寸的不断缩小,新的硅片高效超精...
微通道板双面抛光工艺研究
论文摘要微通道板(MCP)是一种先进的电子倍增器,是微光像增强器的核心部件。双面抛光工艺是微通道板制造的重要工艺。本文利用高分辨率光学显微镜、扫描电子显微镜研究了微通道板表面的...
郭丰杰：主副双刀机械刻划刀具的位姿检测与试验论文
本文主要研究内容作者郭丰杰（2019）在《主副双刀机械刻划刀具的位姿检测与试验》一文中研究指出：主副双刀机械刻划技术是利用两把同型号刻刀形成错刃相对空间位姿关系对衍射光栅精确成...