环境气压论文

论文摘要本工作采用脉冲激光烧蚀(PLA)技术,在10Pa的Ar气环境下,在羽辉正下方、沿羽辉轴线平行方向放置单晶Si或玻璃衬底沉积制备了一系列纳米Si薄膜,并利用扫描电子显微镜...