环境友好半导体材料论文

环境半导体材料Ca2Si的制备及其光电特性研究
论文摘要本文首次应用射频磁控溅射系统制备了环境半导体Ca2Si薄膜，并用X射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜、椭圆偏振光谱仪和四探针仪研究了不同退火条件下薄膜的结构和特性。应用第...