化学键结构论文

SiCOH低κ薄膜的ECR等离子体制备及F掺杂效应研究
论文摘要以十甲基环五硅氧烷（D5）为反应源、采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积（ECR-CVD）方法制备了介电常数较低、电学性能和热稳定性优良的SiCOH薄膜。通过反应源和薄...