化学机械磨削论文

超精密磨削蓝宝石基片的软磨料砂轮磨削性能
论文摘要单晶蓝宝石具有良好的热特性、电气特性、透光性、耐磨性和较高的硬度,所以作为发光二极管(LED)、蓝光激光器(LD)的基片广泛应用于大屏幕彩显、特种照明、交通信号、光通讯...