化学增幅论文

化学增幅光刻胶及其在电子束光刻中的应用
论文摘要本文通过沉淀聚合合成了聚（甲基丙烯酸-co-甲基丙烯酸甲酯-co-甲基丙烯酸叔丁酯-co-甲基丙烯酸异冰片酯）四元共聚物,合成了光产酸剂二苯碘三氟甲基磺酸盐,在净化室中...