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误差扩散编码制作微光学元件
论文摘要近年来,以微光学、微机械、微电子器件为核心的微系统发展迅速,具有广阔的应用领域,将对21世纪的科学技术、生产方式和人类生活质量产生深远影响。1995年的美国财政计划已将...