惠斯通电桥论文

多晶硅压力传感器模数转换电路设计
论文摘要在社会的众多领域中,压力传感器都起到了很重要的作用。根据相关资料得知,压力传感器的种类很多,其中在硅质材料上完成的占大多数。本文的传感器是基于MEMS工艺,在单晶硅上制...