回转式论文

圆光栅回转式压电微角度执行器的研究
论文摘要微位移驱动技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一,随着科学技术的发展,需要高精度、高分辨力、能够灵活控制的微位移驱动及检测系统,用以直接...