活塞换能器论文

论文摘要为满足微机电系统对微构件操纵技术的强烈需求，本文结合国家自然科学基金项目《基于三维可控超声辐射力场的微构件遥操纵的研究》(50375144)和国家高技术研究发展计划(8...