甲硅烷论文

HSi（OC2H5）3歧化制备SiH4及SiH4提纯的工艺研究
论文摘要传统“硅烷法”和“改良西门子法”制备甲硅烷工艺复杂、产率低、反应过程中有大量氯化氢产生,腐蚀设备,污染环境;目前发展的“烷氧基硅烷法”,虽然具有制备的甲硅烷纯度高、环境...