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TiO2系光学减反膜的设计与制备
论文摘要减反膜作为现代光学薄膜体系中最重要的分支,广泛应用在医学、建筑、工业、军事和宇航技术等领域。为了满足现代光学器件对减反膜宽波段、全方位、高效透光的性能要求,本文以TiO...
SiO_x渐变折射率薄膜与ZnO透明导电薄膜的反应磁控溅射工艺及机理研究
论文摘要光学薄膜被广泛应用于科研、国防军事以及民用产品等各个领域。随着光通信、平板显示等技术的出现与发展,以及军事、科学研究等领域新的需求,对光学薄膜性能的要求越来越高,对光学...