键结构论文

碳纳米管结构研究
论文摘要首先对碳纳米管（CNTs）的研究进展与现状——制备与纯化、理化性质、应用前景、研究领域、研究方法及研究成果等进行了全面评述,并对CNTs的原子结构、布里渊（Brillo...
SiCOH低k薄膜的ECR等离子体沉积与介电性能研究
论文摘要微电子器件在快速发展，器件的性能不断完善，集成度不断提高，预计到2010年后进入45nm以下线宽的纳电子器件时代。由于高性能芯片上器件密度和连线密度的增加，器件尺寸和线...