兼容加工工艺论文

论文摘要MEMS加速度传感器是一种典型的力学量传感器，具有体积小、成本低、精度高、集成化等特点，是惯性导航、惯性制导，智能引信等系统中的关键基础元器件，同时被广泛应用于汽车安全...