溅射靶材论文

论文摘要金属氧化物ZnO和In203是一类宽禁带材料,广泛应用于光学和光电子、自旋电子学、信息存储以及太阳能电池等众多高技术领域。掺杂改性是进一步提高这类光电子材料的光学、磁学...

论文摘要液晶行业广泛使用的溅射镀膜用材料靶材在溅射时需要有背板的支撑,而靶材与背板的结合是否结实可靠则非常重要,如果粘结层的性能不能达到要求则很容易造成溅射过程中的“脱靶”,从...