溅射参数论文

IGZO薄膜的制备及性能研究
论文摘要ITO薄膜被认为是光电综合性能最优的透明导电氧化物薄膜之一,其在工业上也有广泛的应用,但是ITO薄膜的原料金属铟资源稀少,因此近年来,研究者一直在寻找ITO薄膜的替代品...
掺铝氧化锌透明导电膜的制备与性能研究
论文摘要掺铝氧化锌（AZO）透明导电薄膜作为一种性能优异的多功能材料引起了研究人员的普遍关注，被认为是当前极具发展潜力的传统铟锡氧化物（ITO）薄膜的替代者。本文采用AZO陶瓷...