溅射产额论文

EBIT中等离子体的分析和高电荷态离子与固体表面溅射实验的研究
论文摘要高电荷态离子（HighlyChargedIonHCI）是核电荷数较高同时外壳层电子被大量剥离的离子。高电荷态离子的研究对天体物理、量子色动力学、原子的精细结构和原子质量...
Monte Carlo模拟FIB研制纳米孔洞的形成
论文摘要聚焦离子束（FIB）技术是微细加工、半导体集成电路制造领域具有代表性的先进技术。具有纳米尺度的孔洞在半导体器件、生物医学等许多领域具有重要的应用和应用前景,一直都是实验...