溅射电压论文

氧化钒薄膜的制备、微结构与特性研究
论文摘要氧化钒一般以混合价态形式存在,常见的钒氧化物都具有金属—半导体相变的转化特性。氧化钒薄膜具有良好的热敏特性,在红外探测和热成像应用领域有广阔的发展潜力。本论文以氧化钒薄...