溅射镀膜论文

等离子体束溅射镀膜机研制及工作机理研究
论文摘要物理气相沉积技术目前主要有热蒸发、溅射、离子镀等方式。溅射技术的出现和应用已经经历了许多阶段,从二极溅射、三极溅射、磁控溅射以及各种新型的溅射方法。相比较而言,二极溅射...
半球陀螺谐振子成型工艺研究
论文摘要半球谐振陀螺是20世纪60年代才出现的一种新型陀螺。半球谐振陀螺由半球形谐振子、静电激励罩、敏感读出基座3部分组成,均由高品质因数(Q)的熔融石英玻璃材料精密加工而成,...