溅射法论文

1.3μmGeSi/Si异质结光波导耦合器的设计与研究
论文摘要在电子系统中为了实现信息传输的大规模化和高速化:一是采用高速电子器件;二是采用光波导连接芯片。GeSi/Si异质结在这两方面的应用中都有明显的优势,本文论证了用GeSi...
ZnO薄膜的制备与性能分析
论文摘要氧化锌（ZnO）是一种具有六方纤锌矿晶体结构的宽禁带II-VI族半导体材料,由于其优良的特性,在太阳能电池、紫外探测器、声表面波器件、气敏传感器、透明电极等方面得到了广...