溅射离子泵论文

溅射离子泵DC-DC特种高压电源的设计
论文摘要真空系统是氢原子钟的重要组成部分，氢原子钟工作时内部必须保持在高真空状态。真空的获得和维持，采用溅射离子泵来完成。离子泵电源是离子泵的关键部分，它直接影响离子泵的抽气效...