溅射原子论文

N2微空心阴极放电及其阴极溅射等离子体过程
论文摘要通过用PIC/MCC方法研究氮气微空心阴极放电等离子体过程,对微空心阴极放电的基本特征作了一些理论探讨。其中带电粒子在电场中的运动由PIC方法描述,粒子间的碰撞以及溅射...