间隙泄漏量论文

多级干式罗茨真空泵实际抽速计算的研究
论文摘要近年来,随着电子工业、化学工业、薄膜及冷冻干燥行业的蓬勃发展,越来越多的行业要求有清洁的、没有油蒸汽存在的真空环境作为其生产基础,因此市场对性能优异的罗茨泵的需求也越来...