交流调制论文

基于交流调制的光栅干涉条纹信号处理及其FPGA实现
论文摘要在表面形貌测量、精密加工、微机电控制系统、生物医学工程以及芯片光刻与封装技术中,高精度的XY二维位移运动工作台具有重要的意义。为此,论文以高精度的XY二维位移运动工作台...