• 基于靶标反馈的自准直光束漂移抑制技术研究

    基于靶标反馈的自准直光束漂移抑制技术研究

    论文摘要超精密加工、精密和超精密装备制造和光学制造等技术的迅速发展,对光电自准直仪的测量稳定性提出了更高的要求。在实际应用中,尤其对用于实验室环境下的高精度的激光CCD自准直仪...