角漂移量论文

漂移量靶标反馈激光自准直系统关键技术
论文摘要随着超精密加工、微电子、微光学、微机械集成制造和空间探测等技术的迅速发展,对超精密工作台的小角度测量精度和稳定性提出了更高的要求。传统的激光CCD自准直仪只能满足一般精...