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AlxGa1-xN的MOCVD外延生长及日盲p-i-n型焦平面阵列探测器的研制
论文摘要第三代半导体GaN与AlN合成的AlxGa1-xN三元合金晶体材料随着Al组分的变化其禁带宽度不但变化范围大(3.4eV~6.2Ev)且连续可调,对应吸收光的波段在20...