甲烷等离子体处理论文

旋转涂敷法（SOD）制备硅基多孔低k薄膜材料的研究
论文摘要自20世纪90年代以来,超大规模集成电路（ULSI）的特征尺寸按摩尔定律缩小。由于器件密度和连线密度增加、线宽减小,将导致阻容（RC）耦合增大,从而使信号传输延时、干扰...