基板温度论文

Al2O3与LaF3薄膜在193nm波段的特性研究
论文摘要近年来，准分子激光器快速发展，并得到广泛应用，推动了紫外薄膜研究的发展。大多数材料在紫外波段呈献明显的吸收，目前对193nm紫外薄膜的研究主要集中在氟化物和少数的氧化物...