基薄膜论文

WO3基气敏传感器薄膜材料的性质及应用研究
论文摘要微结构气敏传感器与电子鼻是近年来国际上传感器领域的研究热点,微结构气敏传感器是利用微电子、微机械加工和薄膜技术将加热测温电阻、测量电极和敏感薄膜集成一体的新一代气敏元件...
高k-ZrO2基薄膜生长行为及其稳定性的研究
论文摘要利用高k介电薄膜材料替代传统的SiO2栅介质层是满足发展亚0.1μm以下尺寸的超大规模集成电路的要求,是目前微电子领域的研究热点之一。ZrO2薄膜因其具有合适的介电常数...