集成电路工艺论文

论文题目:用于亚0.1μmCMOS器件技术中的镍硅化物研究论文类型:博士论文论文专业:微电子学与固体电子学作者:蒋玉龙导师:李炳宗关键词:镍硅化物,固相反应,单步快速热处理,两...