集成工艺论文

论文摘要我国化工园区面临诸多环保安全问题,给沿江、沿海、环湖等重点区域的生态环境造成巨大压力。化工废水因其毒害污染物成分复杂、可生化性差等特点,单一工艺处理效果差、达标控制难,...

论文摘要基于SOI相关基础理论和技术实践，源自光机电新器件开发需求，在综合Si良好导热导电与SOI优良隔离特性基础上，本文提出了一种兼具硅和SOI优势的新型部分绝缘键合SOI结...