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表面应力敏感微梁的设计制作及双光栅干涉测量方法
论文摘要生化检测技术在疾病诊断、食品安全、环境监测、国防和反恐等方面有广泛的应用需求。基于微梁的阵列传感器是生化检测向微型化、集成化、高通量、多目标、高灵敏度检测方向发展的一种...