集成温度传感器论文

适用于SOC式微气压测试仪的基础研究
论文摘要微气压传感器广泛应用于化工、航天、食品加工、半导体加工、电子封装以及科学研究等领域。随着MEMS（MicroElectro-MechanicalSystems）技术和I...