极大规模集成电路论文

碱性抛光液对铜平坦化的影响研究
论文摘要随着极大规模集成电路（ULSI）的发展,特征尺寸进一步减小,布线层数增加,铜布线已逐步取代铝布线应用于极大规模集成电路（ULSI）的制造。铜布线超大规模集成电路的制造主...