基底负偏压论文

nc-TiN/a-Si3N4纳米复合薄膜的制备与性能研究
论文摘要采用实验室自行设计的FDJ600型高真空多功能薄膜沉积设备,通过离子束溅射、磁过滤阴极弧等离子体沉积、射频耦合感应离子源相复合的方法在单晶硅表面沉积了nc-TiN/a-...