接触测量论文

小面型光学元件超精密测量误差分离技术研究
论文摘要随着非球面等光学元件在现代光学系统中的广泛应用,对光学元件的加工与检测都提出了更高的要求。接触式测量方法精度通常在微米、亚微米量级上,能满足检测精度要求,已成为当前光学...