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微纳米开关多物理场复合接触研究
论文摘要随着MEMS开关在商业领域和国防领域的广泛应用,解决了大量的高频无线通信问题,促使了通讯系统及经济的迅猛发展。然而它的实际应用由于其易失效等弱点受到限制。研究两粗糙表面...