接触式电容压力传感器论文

基于单晶硅的电容式压力传感器的设计与检测
论文摘要接触式电容压力传感器(TMCPS)与其它类型压敏器件相比有着明显的优点,例如较好的线性,高的灵敏度和大的过载保护能力等。它在工业生产、医疗卫生、军事及科学研究等众多领域...