接触式开关论文

通信MEMS射频接触式开关的设计与制作技术研究
论文摘要自约十年前开始,微机械开关的研究倍受关注,至今RFMEMS开关已经进入了小批量商业试用产品阶段。RFMEMS开关由于其尺寸小、分量轻、低损耗、高隔离而在无线通信领域有广...