结构有序论文

磁控溅射法沉积硅薄膜的研究
论文摘要太阳电池是一个朝阳产业,也是现在发展正非常火热的一个行业。非晶硅、微晶硅薄膜太阳电池在硅系太阳电池中具有很大的性价比优势。本文使用磁控溅射法沉积硅薄膜,通过优化薄膜沉积...