洁净室论文

医药洁净室压差调试方法及常见问题探讨
华东医药（杭州）百令生物科技有限公司浙江杭州311228摘要：在科学技术研究不断进步的时代，很多领域都需要高标准的研究空间，洁净室确保了科研环境的洁净度，温湿度、压力等等。洁净...
多点测量尘埃粒子计数系统
论文摘要洁净室是各个高精尖科技领域发展所必需的环境,而多点测量系统又是当前洁净室检测方法中最先进的方法,没有它就没有洁净室。因此发展基于多点测量系统的洁净室是我们发展高精尖科技...
半导体代工厂洁净室的设计、监控和管理案例分析
论文摘要在半导体代工厂中,洁净室系统为整条生产线提供洁净的环境,是硅芯片赖以生产加工最基本的条件。洁净室,是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将...
宋健：利用离子色谱仪分析洁净室空气中的痕量阴离子含量论文
本文主要研究内容作者宋健,王承惠,周洁,姜舜（2019）在《利用离子色谱仪分析洁净室空气中的痕量阴离子含量》一文中研究指出：随着工艺的推进,线宽的缩小,洁净室空气中阴离子的存在对芯片产品的良率影响更加明显,这就要求对阴离子含量的分析能达到更低的检出限以更好的管控洁净室空气的质量。描述一种分析洁净室空...