阶梯光栅论文

硅基光栅耦合器和波导分束器的研究
论文摘要硅基光子学是当前光子学领域的热门研究热点之一。其研究内容是在硅材料上实现各种光子功能器件的制备和集成。平面光栅耦合器具有高耦合效率,体积小,易于制备和封装的特点,主要应...